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郑州合晶硅材料有限公司高性能材料研发试验项目

规划工业四路以南、华夏大道以西

郑州合晶硅材料有限公司

郑州大学环境技术咨询工程有限公司

项目位于规划工业四路以南、华夏大道以西，建设单位拟投资45000万元，其中环保投资60万元，在现有车间内部建设300mm单晶硅衬底片实验片项目，规模为年产24万片300mm硅单晶衬底片实验片，采用工艺为长晶炉长晶（缩颈生长、放肩生长、转肩、等径生长、尾部生长）、拆炉、切头去尾、切段、滚圆、晶棒质量评价、切片、酸蚀/碱蚀、清洗、包装。

一、废气。1、拆炉废气依托现有弹匣式滤筒除尘器处理，真空泵废气依托现有油雾净化装置处理后与长晶工段废气共同依托现有碱液喷淋塔洗涤后由1根25m高排气筒排放。2、硅片酸蚀/晶棒质量评价工段产生的氮氧化物、HF废气、乙酸废气依托现有三级碱液吸收塔处理后由25m高排气筒排放。3、半成品硅片研磨后清洗、晶背加工后清洗、成品硅片清洗工段产生的HF、HCl酸排气体依托现有碱液吸收塔处理后由25m高排气筒排放。4、研磨后清洗废气、成品硅片碱洗工段NH₃依托现有硫酸吸收塔处理后通过25m高排气筒排放。5、切片、倒角等工段产生的湿粉尘气体、特气依托现有碱液吸收塔处理后由25m高排气筒排放。 

二、废水。项目各工段产生的废水依托现有工程污水处理站处理，厂区总排口达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）电子专用材料-间接排放标准限值及第三污水处理厂设计进水水质指标要求。

三、噪声。设备产生的噪声经采取安装基础减振、隔声等降噪措施后达标排放。

四、固废。危险废物收集暂存后交有资质单位处理，一般固废合理处置，生活垃圾交由环卫部门处置。

按照《环境影响评价公众参与办法》要求，项目建设情况于2022.11.24日在商都网发布第一次公众参与信息，2022年12月24日在河南日报发布第二次公众参与信息。至公示截止日，未收到与工程环境保护有关的公众反对意见。